仪器名称

白光干涉仪

仪器编号

2020010992

仪器单价

48.96万元

收费标准

400元/机时

存放地点

31-501

国别

中国

生产制造商

深圳中图

学科领域

机械工程

资源平台

浙江省城市轨道交通智能运维技术与装备重点实验室

技术指标

扫描装置：长范围，Z轴纳米光栅控制；物镜：Nikon，10×无限远共轭干涉物镜；

物镜座：5孔电动物镜塔台（标准）；测量阵列：1024*1024，工业级相机；Z轴：100mm行程，纳米位移闭环反馈；安全性：系统集成紧急制动功能；样品台：0.1nm电动，俯仰倾斜±6°，电动调节，XY行程300*3尺寸450*450mm，亚微米闭环反馈

主要功能

适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量，通过对样片表面的微观形貌进行定量分析

服务范围

适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量，通过对样片表面的微观形貌进行定量分析

白光干涉仪操作流程

1.松开机器按钮，打开设备软件，输入账号和密码

2.仪器摄像头打开

3.通过调节旋钮，使倍镜与工件靠近，调节时眼睛注意观察倍镜与工件的距离，避免两者摩擦磨损镜头

4.在镜头下成像以后，先将镜头画面两次调至模糊状态，计算出差值。

5.确定扫描范围，范围值要大于差值

6.设置完成后，再将其调至干涉条纹状态，点击开始测量

7.测量完成后先进行数据处理

8.导出数据，进行数据分析。

9.关闭仪器软件

10.实验结束