仪器名称

激光共焦扫描显微镜

仪器编号

20142349

仪器单价

77.8万元

收费标准

300元/机时

存放地点

31-412

国别

德国

生产制造商

德国莱卡

学科领域

机械工程

资源平台

浙江省城市轨道交通智能运维技术与装备重点实验室

技术指标

光学部分：光学变焦优于：1X~6X；物镜放大倍数：至少包含5X,10X,20X,50X，及不小于100X以上，总放大倍数100~17000倍；长工作距离物镜50X：工作距离10mm以上；物镜转盘：至少6个物镜装载孔，测量方便；最高倍物镜的数值孔径：不小于0.95；光源波长：405~410 。测量精度指标：XY轴：分辨率优于120nm，重复精度优于20nm（3σ）；Z轴：分辨率优于10nm，重复精度优于20nm（1σ），最大可容许测量高度不小于5mm；

主要功能

1、用于微观三维形貌观察与测量、微观几何尺寸的测量；要求设备具有不低于20nm的测量精度，快速高效的测量实现方法；2、具有金相分析功能及高精度3D形貌测量；2D真彩色照片拍摄和测量；表面轮廓曲线和三维轮廓曲面测量；面粗糙度测量；线粗糙度测量；颗粒分析测量；几何测量和运算（高度、宽度、角度、半径、面积、体积）；三维形貌图像显示。

服务范围

粒分析测量；几何测量和运算（高度、宽度、角度、半径、面积、体积）；三维形貌图像显示。

激光共焦扫描显微镜操作流程

1.开启气动工作台

2.开启仪器电源及光源

开启总电源，先启动计算机(黑色主箱)，待计算机运行1分钟后，再启动显微镜控制器(白色主箱)，启动操作软件，此时显微镜光源自动开启。

3.设置相应的扫描方式

放置好被测试样，调整所用物镜放大倍数，手动聚焦，在电脑显微镜界面上找到需要检测区域。调整扫描参数，开始扫描，即可得到清晰的共聚焦图像。

4.获取图像

待样品完整扫描后，保存图像结果即可。

5.关闭仪器

仪器测定样品结束后，先关闭软件再关闭显微镜控制器(白色主箱)，计算机仍可继续进行图像和数据处理。若要退出整个共聚焦显微镜系统。则应该在显微镜关闭后，待其冷却至少2分钟后再关闭计算机及总开关。